晶圆清洗用水超纯水设备/旭能环保

自动化程度高：配备先进的 PLC 控制系统，可实时监测和控制水质、压力、流量、温度等参数，实现自动运行、自动调节、自动保护和故障报警，减少人工操作和维护成本。

稳定可靠运行：采用高品质的膜组件、泵、阀门等关键部件，经过严格的设计和测试，设备运行稳定可靠，能够长时间连续供应高质量的超纯水，确保晶圆清洗工艺的连续性。

灵活定制化：可根据不同的生产规模、水质要求和工艺需求，进行模块化设计和定制化配置，方便设备的安装、调试和扩展。

节能环保：采用节能型泵和优化的工艺流程，降低能耗；同时，EDI 技术的应用减少了酸碱废水的排放，符合环保要求。