推广 热搜:   入户  代理  食品  过滤器  美国    滤芯  抽粪车  磁力钻 

上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 40

点击图片查看原图
 
品牌: KRI
单价: 面议
起订:
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 广东 深圳市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-07-21 09:58
浏览次数: 18
询价
 
公司基本资料信息
详细说明
 射频离子源 RFICP 40

KRi 射频离子源 RFICP 40
上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 40 : 目前 KRI 射频离子源 RFICP 系列尺寸最小, 低成本高效离子源. 适用于集成在小型的真空腔体内. 离子源 RFICP 40 设计采用创新的栅极技术用于研发和开发应用. 离子源 RFICP 40 无需电离灯丝设计, 适用于通气气体是活性气体时的工业应用. 标准配置下 RFICP 40 离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 120 mA.

射频离子源 RFICP 40 特性:
1. 离子源放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.
2. 离子源结构模块化设计, 使用更简单; 基座可调节, 优化蚀刻率和均匀性.
3. 提供聚焦, 发散, 平行的离子束
4. 离子源自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
5. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用
6. 离子源中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性

KRI 射频离子源 RFICP 40 技术参数:

型号

RFICP 40

Discharge 阳极

RF 射频

离子束流

>100 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

4 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

3-10 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

12.7 cm

直径

13.5 cm

中和器

LFN 2000


KRi 射频离子源典型应用:
预清洗 PC
表面改性
辅助镀膜 (光学镀膜 ) IBAD
溅镀和蒸发镀膜 PC
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
离子源在离子束溅射沉积过程:

KRi 射频离子源 RFICP 40 客户案例:
安装于 e-beam 电子束蒸发系统, 进行 IBAD 辅助镀膜 (玻璃上镀反射涂层).
射频离子源 IBAD

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产宽束离子源, 根据设计原理分为考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国 KRi 考夫曼离子源中国总代理.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯东版权所有, 翻拷必究!

 

更多>本企业其它产品
上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮分子泵 Hipace 700 M 上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 分子泵 HiPace 400 上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮分子泵 HiPace 300 M 上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 450 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全新型号涡轮分子泵 HiPace 350 上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer  HiPace 60P 上海伯东代理德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 30 上海伯东德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 700
0相关评论
网站首页  |  VIP套餐介绍  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报