HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200 系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀, 可靠使用寿命超过1百万次. HVA 矩形门专用于真空相关系统, 起隔绝真空压力的作用. HVA 矩形阀外形尺寸小, 设计紧凑, 可靠应用于生产线与过渡腔室 load-lock chamber 过渡腔室 load-lock chamber 与传输系统handling system, 传输系统 handling system 与工艺腔室 process chamber 等等需要分隔真空压力的地方.
HVA 88200 系列矩形阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 矩形阀 88200 系列技术参数
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连接形式： |
标准或定制法兰 |
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主体材料： |
铝 |
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公称通径： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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压力范围: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤温度: |
《150℃ |
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适用介质： |
水、蒸汽、空气 |
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密封形式： |
软密封型 |
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驱动方式： |
气动 |
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使用寿命: |
1000000 启闭次数 |
HVA 矩形阀 88200 系列部件图
上海伯东美国 HVA真空阀门中国总代理! HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, 美国HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀, 矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中！与友厂真空阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速！
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